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清華大學(xué)新成果助力光刻機研發(fā)

有望為光子科學(xué)研究提供廣闊的新機遇,助力解決自主研發(fā)光刻機中最核心的“卡脖子”難題。

2月25日消息,清華大學(xué)工程物理系教授唐傳祥研究組與來自亥姆霍茲柏林材料與能源研究中心(HZB)以及德國聯(lián)邦物理技術(shù)研究院(PTB)的合作團隊2月25日在《自然》雜志上發(fā)表了題為《穩(wěn)態(tài)微聚束原理的實驗演示》的研究論文,報告了一種新型粒子加速器光源“穩(wěn)態(tài)微聚束”(英文縮寫SSMB)的首個原理驗證實驗?;赟SMB原理,能獲得高功率、高重頻、窄帶寬的相干輻射,波長可覆蓋從太赫茲到極紫外(EUV)波段,有望為光子科學(xué)研究提供廣闊的新機遇,助力解決自主研發(fā)光刻機中最核心的“卡脖子”難題。

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